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采用德國進口真空泵； 真空腔上部帶波形紅外輔助加熱；
真空區可實時監測溫度及真空度；
三段式獨立運輸，軌道自動調寬系統；
專利熱風結構，控溫精準；
適用于半導體車規級等低空洞率場合。
